在半導體制造行業，高純化學品的輸送系統正面臨前所未有的嚴苛要求。特別是在蝕刻（Etching）和清洗（Cleaning）工藝中，所使用的高純度電子級酸液對泵體材料的純凈度、耐腐蝕性和密封性提出了極高挑戰。

  為滿足半導體客戶對“高潔凈度、零泄漏、高耐腐蝕性”的需求，安徽氟特化工泵業有限公司推出的PFA材質襯氟磁力泵，成為電子化學品輸送領域的優選解決方案。

  ?? 高純電子酸：半導體制造中的關鍵材料

  高純電子酸主要用于晶圓蝕刻、清洗和鈍化等步驟，其純度要求可達ppb（十億分之一）級別，廣泛使用的酸液包括：

• 高純氫氟酸（HF）：用于硅氧化層蝕刻

• 高純硝酸（HNO?）：清除金屬雜質，輔助氧化

• 高純硫酸（H?SO?）：配合過氧化氫進行有機物清洗

• 高純鹽酸（HCl）：去除金屬離子雜質

• 高純磷酸（H?PO?）：濕法蝕刻氮化物層

• 混酸體系（如RCA清洗液）：用于多步清洗過程

  這些酸液不僅腐蝕性極強，還對材料析出物控制提出極高要求，傳統金屬泵、PVC/PP泵難以勝任。

  氟特泵業：PFA襯氟磁力泵——專為高純酸液而生

  為保障高純電子酸在輸送過程中的化學穩定性與潔凈度，氟特化工泵業研發的PFA襯氟磁力泵采用了進口高純PFA材質，具備以下核心優勢：

  ? 高純材質，避免離子污染

• 全內襯材質為高純PFA，金屬離子析出極低，適用于超純化學品輸送

• 表面光滑無死角，極大降低顆粒吸附與殘留，滿足Class 100級潔凈室使用要求

  ? 無泄漏磁力驅動結構

• 采用無軸封磁力驅動設計，徹底解決酸液泄漏問題

• 特別適用于易揮發、強腐蝕性、對安全性要求高的電子化學品

  ? 卓越的化學兼容性

• 對HF、HNO?、H?SO?、HCl、H?PO?等電子級酸液有優異耐腐蝕性

• 可在80℃以上長期穩定運行，適用于高溫工藝段

  ? 精密制造，保障系統穩定性

• 采用CNC精密加工技術，嚴格控制產品一致性

• 支持定制接口、流量控制等集成方案，便于與晶圓濕法設備、槽體系統匹配

  ?? 典型應用場景

• 晶圓清洗設備（Wet Bench）

• 蝕刻液輸送系統

• 高純化學品投加系統

• 酸堿儲罐卸料/循環輸送

• CMP拋光液/稀釋液計量系統

  ?? 為什么選擇氟特？

  作為深耕腐蝕性液體輸送領域多年的專業制造商，安徽氟特化工泵業有限公司在材料選型、結構設計、應用定制方面具備成熟經驗，已為眾多半導體、面板、光伏、新能源企業提供可靠輸送方案。

  我們承諾為客戶提供：

• 持久耐腐蝕的PFA材質泵體

• 可靠的無泄漏磁力傳動系統

• 快速響應的技術支持與定制服務